在化工、半導體、電鍍等高精密領域,液體輸送的安全性與可靠性直接關乎生產效率和成本。日本IWAKI(易威奇)在北京華林嘉業科技有限公司(CGB)北方制造基地河北省廊坊市香河工廠培訓圓滿完成,并正式授權CGB作為IWAKI品牌在中國半導體行業重要的合作伙伴,為您帶來原廠正品與本土化服務的一站式解決方案!


交流雙方
IWAKI公司
日本(易威奇)IWAKI具有近70年歷史的化工泵專業制造商,是世界首家生產合成材料的磁力驅動離心泵的企業。IWAKI生產的化工泵種類齊全,從1956年創立開始,不斷研制推出多系列寬用途的新產品,至今已有500多個標準型號,從結構輕巧精密的OEM(設備配套)產品,到全球高級別的「氟材質磁驅離心泵」、「定量添液泵」和「水質控制器」,易威奇化工泵廣泛應用于化工、石化、環保、電鍍、印刷電路板、造紙、及半導體等行業。
風囊泵——氣動驅動的安全衛士
風囊泵(Bellow Pump)是以PTFE為基材的泵浦,通過壓縮空氣驅動柔性風囊(類似氣囊)的收縮與膨脹來輸送流體。其核心功能為:
? 無機械密封:無動態密封結構,杜絕泄漏,適合危險化學品輸送。
? 耐腐性:風囊為PTFE,適合強堿、強酸介質,適應半導體苛刻化學環境。
半導體濕式蝕刻工藝是一種利用強酸、強堿等腐蝕性液體化學物質對晶圓表面進行選擇性材料去除的技術。其中,高純度蝕刻液的輸送是關鍵環節,通常需要使用耐腐蝕性極強的PTFE材質泵浦。
由于半導體制造對流體純凈度要求極高,而PTFE材料純度及風囊泵制作工藝精度直接影響泵浦的性能和可靠性。
磁力泵(Magnetic Drive Pump)利用磁力耦合原理驅動葉輪,實現零泄漏、免維護的流體輸送。IWAKI作為磁力泵技術先驅,其電磁泵以高效、靜音、長壽命著稱。
? 100%無泄漏:取消機械密封,杜絕介質外泄。
? 超長壽命:無接觸傳動,磨損極低,適合連續運行。
? 精準控制:流量穩定,適用于精密加藥、計量場景。
? 低能耗:高效葉輪設計,節能環保。
計量泵(Metering Pump)是一種能夠精確控制流量的容積式泵,主要用于需要高精度定量輸送的工業場景。其核心特點是可調節流量、高重復精度和穩定可靠性,廣泛應用于化工、制藥、半導體、環保等領域。
北京華林嘉業科技有限公司(CGB)
作為國內領先的專業半導體設備制造商,CGB專注于晶圓清洗、干燥及表面處理技術的研發與生產,公司研發總部位于北京亦莊經濟技術開發區,擁有河北廊坊北方生產基地和無錫華東區域服務中心。同時在日本設有研發中心,專注于產品研發和海外市場服務。
產品應用領域包含:集成電路(IC)、微機電系統(MEMS)、硅材料(Si)、化合物半導體(Compound Semiconductor)、光通信器件(Optical Communication Devices)、功率器件(Power Devices)、半導體照明(LED)、先進封裝(Advanced Packaging)、光伏電池(Photovoltaic)、平板顯示(FPD)和科研(R&D)等。
作為國內深耕半導體濕法制程設備、全自動晶圓倒角機、全自動刷片機、干燥機、化學品供給系統等設備制造商,CGB始終嚴格按照國際質量管理體系標準進行全方位和全過程的質量控制,同時注重持續改進及創新。
核心優勢包括:
? 核心技術:在RCA清洗、Marangoni干燥、晶圓倒角機等領域擁有多項專利
? 定制化能力:可根據客戶需求調整工藝參數,適配Si、SiC、GaN、Ga?O?等先進半導體材料
? 穩定量產驗證:設備已在國內多家頭部晶圓廠、第三代半導體企業穩定運行
公司設備核心優勢
1.碳化硅、多晶硅、硅基等晶圓的干燥處理方面,我公司自主研發的Marangoni干燥機有其獨特的技術優勢。
? 多尺寸支持
Marangoni干燥機支持4-12英寸晶圓,厚度110-1400μm,適應多樣化需求。它能夠滿足不同尺寸晶圓的干燥需求,提高生產靈活性。
? 節能高效
Marangoni干燥機無需加熱IPA,采用N2加熱,自動調溫,節能高效。它通過氮氣加熱技術,實現快速穩定的干燥過程,降低能耗。
? 高潔凈度
Marangoni干燥機能夠實現晶圓表面潔凈度高,無水印,金屬污染≤1E10 atoms。它采用高效的干燥方式,避免水漬殘留和金屬污染,確保晶圓表面質量。
? 緊湊設計
Marangoni干燥機占地面積小,即可單機使用,也可以集成到全自動清洗設備當中使用。

2.全自動有機清洗機針對油污、脂漬、金屬加工液等?有機污染物?,有機清洗劑的溶解力顯著高于水性清洗劑,能快速分解頑固油污。結合?超聲波空化效應?(頻率40kHz-80kHz),實現半導體晶圓的表面處理。
通過有機溶劑(ACE、NMP、EKC、IPA)與物理清洗(噴淋、超聲波)結合,降低晶圓表面缺陷率,提升芯片良品率?。
前置式全自動機械臂,工藝過程中無需人員參與,保證晶圓清洗的一致性。
配備消防系統
? 毫秒級探測?:在設備內部高風險區(溶劑槽、管路區等)部署溫度/火焰/煙霧多傳感器,實現火災萌芽期精準識別。
? 定向滅火?:針對溶劑特性選用二氧化碳滅火劑,通過噴嘴直接噴射至火源,10秒內完成初期火勢壓制。

3.全自動晶圓倒角機采用日本先進工藝,主要用于SiC等化合物半導體晶片、Si晶片等的外圓倒角,利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工。具備兩個加工軸,可獨立控制,也可單軸單獨加工。與單軸設備相比,雙軸可將加工效率提高70%。(僅供參考)

我們非常榮幸地宣布,CGB 是 日本IWAKI 公司正式授權的中國品牌半導體設備制造商。這意味著:
? 正品保障: CGB為您提供“易威奇”品牌原裝正品的半導體行業用泵及配件產品。
? 本地化服務: 我們立足中國,擁有完善的銷售網絡、專業的工程師團隊和高效的倉儲物流,為您提供快速響應、便捷采購、專業選型、技術支持和及時的原廠備件供應。
? 應用專家: 深刻理解中國各行業(化工、電鍍、PCB、半導體、環保等)的工況需求,為您量身定制安全、高效、經濟的輸送解決方案。




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如果您正在為腐蝕性、危險性液體的安全輸送問題而困擾,如果您追求設備的可靠性和長壽命,IWAKI風囊泵將是您理想的選擇。
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