產(chǎn)品中心
- 槽式濕法制程設(shè)備
槽式濕法制程設(shè)備
- 單片濕法制程設(shè)備
單片濕法制程設(shè)備
- 輔助設(shè)備
輔助設(shè)備
- 干燥機(jī)
干燥機(jī)
- 倒角機(jī)
倒角機(jī)
- 代理服務(wù)/整線輸出
代理服務(wù)/整線輸出
輔助設(shè)備
全自動(dòng)運(yùn)行：全自動(dòng)機(jī)械手搬運(yùn)工件，槽內(nèi)工藝流程自動(dòng)運(yùn)行，工藝期間不需要人員參與。
酸槽清洗：使用化學(xué)液配合循環(huán)過濾系統(tǒng)對(duì)陶瓷零部件表面進(jìn)行清洗。
化學(xué)液回收利用：工藝完成后，化學(xué)液經(jīng)過濾器進(jìn)入儲(chǔ)液箱，可供下次重復(fù)利用。
水槽清洗：配有快速注水（1分鐘之內(nèi)注滿槽）、慢速溢流（2-10L/Min帶走槽內(nèi)污染物）、高壓噴淋（0.3-1.2MPa壓力可調(diào)）、底部鼓氮（10-100L/Min流量可調(diào)）、急速排放（10秒內(nèi)排空）等多重功能于一身，滿足不同工件的工藝要求。
節(jié)水功能：慢速溢流后與噴淋后的DIW可經(jīng)回收管路進(jìn)入純水箱，供下次注水使用，可很大程度上節(jié)約DIW。
干燥功能：使用高溫N?風(fēng)配合槽內(nèi)紅外加熱管進(jìn)行干燥。
工藝柔性化設(shè)計(jì)，可設(shè)備多組工藝配方，更改方便迅速。
多級(jí)別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲(chǔ)。
產(chǎn)品詳情
陶瓷零部件清洗機(jī)在半導(dǎo)體制造中主要用于清洗高硬度、高光澤、多孔材料的專業(yè)設(shè)備，確保其表面無污染物，以滿足半導(dǎo)體制造的高潔凈度要求。
通過化學(xué)藥液進(jìn)行表面清洗，結(jié)合去離子水（DIW）浸泡，高壓水噴淋，有效去除0.2μm以上顆粒且去除率超過95%，同時(shí)支持自動(dòng)化控制參數(shù)如時(shí)間、溫度和流量?。并配備超聲波清洗，通過高頻振動(dòng)在清洗液中產(chǎn)生空化效應(yīng)，形成數(shù)百萬微米級(jí)氣泡，氣泡破裂產(chǎn)生強(qiáng)大沖擊力剝離污垢?。
設(shè)備骨架采用Q235碳鋼，外噴氟漆處理。主體采用聚丙烯PP板包覆，結(jié)構(gòu)包括自動(dòng)運(yùn)行機(jī)械臂，槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)或拋動(dòng)機(jī)構(gòu)、化學(xué)液循環(huán)系統(tǒng)，高壓噴頭組件、工件提升裝置、氮?dú)飧稍锕苈罚约盎瘜W(xué)液回收箱?。
| 清洗能力 | 各種陶瓷零部件（如碳化硅陶瓷、氧化鋁陶瓷） |
| 配液方式 | 自動(dòng)配液、自動(dòng)補(bǔ)液 |
過濾精度 | 0.05-0.2μm |
| 循環(huán)流量 | 15-30L/min |
| 干燥溫度 | 60-80℃ |
| 槽體材質(zhì) | SUS316L、PVDF、NPP |
| 安全防護(hù)功能 | 運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)安全連鎖，機(jī)械防護(hù)罩，漏液監(jiān)測(cè)，氣壓報(bào)警，水壓報(bào)警，風(fēng)壓報(bào)警 |
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