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臥式晶圓甩干機是半導體制造中的關鍵清洗設備，專為實現(xiàn)晶圓的高效、快速干燥而設計。此干燥步驟對保障后續(xù)工藝質量和產品可靠性至關重要。其核心原理是利用高速旋轉產生的離心力將晶圓表面的水分甩離。在甩干過程中，旋轉動作在腔體內形成氣流，引導外部空氣從槽蓋被吸入，經FFU（風機過濾單元）濾芯過濾凈化后，最終由專用排氣系統(tǒng)順暢排出。為應對甩干時可能產生的靜電積聚（易導致顆粒粘附），這類氣流式甩干機通常還集成靜電消除部件，以有效減少此類現(xiàn)象發(fā)生。