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全自動枚葉式洗浄機は、多層キャビティ構造を採用し、回転ブラシヘッド、二流體、メガソニック、さまざまな化學液を組み合わせて、ウェーハ上の物理的な粒子や金屬イオンの殘留物を効果的に除去します。主にウェーハ製造の最終洗浄、CMP後の洗浄、拡散前の洗浄、エッチング後の洗浄、標準RCA洗浄、PR除去洗浄、コーティング前後の洗浄などに使用されます。