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ü多様なウェーハ仕様に対応。

üセルフクリーニングブラシヘッド。

ü選択可能な構成（ウェットイン?ドライアウトまたはドライイン?ドライアウト）。

ü獨立した反転モジュールにより、ウェーハの両面を自動的に反転?洗浄。

ü柔軟なチャンバー數の選択（2/4/6/8）。

ü優れた洗浄結果。

ü多様な安全試験（破片発生を避ける）。