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自動シードウェーハ洗浄機(jī)は、回転ブラシヘッドと二流體を使用し、DIWと組み合わせることでウェーハ上に殘る物理的なパーティクルを効果的に除去します。主に異なる仕様のシードウェーハの洗浄に使用されます。

6?12インチの多様な仕様のウェーハに対応。

セルフクリーニングブラシヘッド。

獨(dú)立した反転モジュールにより、ウェーハの両面を自動的に反転?洗浄。

多様な仕様のウェーハの正確なアライメント。

優(yōu)れた洗浄結(jié)果。

多様な安全試験（破片発生を避ける）。