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半自動シングルキャビティフォトマスク洗浄機(jī)は、フォトマスクの表面に殘るレジストの殘留物を効果的に除去し、浸漬、ブラシ洗浄、ACE/IPA洗浄、メガソニック洗浄を通じてマスク表面を清浄にします。

この裝置は、プロセスチャンバー、リフティングスキャニングスイングアームモジュール、ブラッシングスイングアームモジュール、液供給?排出システム、空気清浄?靜電気除去システム、排気システム、中央制御システムなどで構(gòu)成されています。プロセスチャンバーには、ブラシ洗浄、ACE洗浄、IPA洗浄、メガ洗浄、窒素吹付、窒素乾燥、遠(yuǎn)心スピンオフなどの機(jī)能を裝備することができます。