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ü柔軟な設計で、システムの自動スケジューリングとウルティステーション同時処理により、高効率な運転を実現します。 

üソフトウェアとハードウェアのインターロック安全裝置、溫度の自動校正と過溫保護により、機器と作業者の安全を確保します。 

üワンクリックでの酸交換やAuto Pmなどの機能が機器メンテナンス効率を向上させます。 

ü複數のロボットアームシステムが「ドライイン?ドライアウト」の要求に対応し、クリーン度を向上させます。